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电子厂粒子监测
 发布时间:2019-05-28      浏览次数:186次     参与评论
采样点布置跟生产工艺完美结合的在线粒子监测系统

粒子实时在线监测系统方案

此系统可对洁净区域中的环境和设备内部进行自动监测,激光粒子计数器型号为:TSI-7301,粒子监测粒径为0.3, 5.0μm,采样量为:2.83L/min。系统配置外置真空取样泵,并根据厂房的实际情况配全相应的取样管、数据线电源线等辅材。可实现对环境中的粒子实时监测显示。
 FMS粒子在线系统架构图  

 
 

系统原理

系统主要包含粒子计数器、真空泵、数据处理器和监测显示屏三大部分。通过真空泵将待测气体传入传感器腔体内,激光二极管发出的光照射在粒子上,光线发生散射,传感器接受到散射光后将光信号转换成电信号,经由数据处理器运算变换处理后给到示屏显示数据,当数据值超过预设值的警戒线就显示相对应的颜色指示灯。
 
粒子在线系统方案明细

系统说明:本项目设计可为11个千级无尘棚共用一套在线粒子监测系统。
本套系统包含75个粒子监测点(其中1号千级洁净棚6个点、2号千级洁净棚5个点、3号千级洁净棚4个点、4号千级洁净棚12个点、5号千级洁净棚3个点、6号千级洁净棚5个点、7号千级洁净棚12个点、8号千级洁净棚4个点、9号千级洁净棚8个点、10号千级洁净棚5个点、11号千级洁净棚9个点、),1套真空泵,1套控制箱,1个大屏显示器。
 
粒子监测点分布图
 
 
该方案得很好的结合客户的实际生产工艺来布局采样点,这个在做之前要跟客户充分的沟通,甚至还要对一些风险点进行风险评估,然后根据评估结果,来布置采样点,在线系统才能起到很好的检测作用。

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