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高效过滤器检漏仪
美国ATI高效过滤器检漏仪又称DOP检漏,测试的目的是通过对洁净室内已安装的高效过滤器进行PAO检漏,确认高效滤器的完整性及其安装的密封性。高校过滤器检漏的方法:分为钠焰法、计数扫描法、油雾法、空气粒子计数器法。除2I光度计外,发生器可为分冷发尘和热发尘,规格型号有:4B、6D、5C(热发尘)。
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