痕量级AMC空气分子污染物Ma Mb（NH3、HCL、HF等）监测-半导体行业应用

光刻工艺洁净室内痕量级NH3、HCL、HF等气体的超高灵敏度、实时测量实践证明深紫外光刻工艺深受多种类微量污染物的影响，对很多微量污染物极为敏感，比如氨气或者酸性气体都会给半导体生产带来极大的危害，尽管随着深紫外耐腐蚀材料技术的发展，已经减少了长时间持续实时监测，而实际上空气分子污染（AMC）的实时测量对产品质量的好坏至关重要。

猎户座3100S系列空气分子污染物监测系统基于CEAS（腔增强吸收光谱）技术连续分析仪器，将增加半导体器件阻抗一致性、保证更长的过滤器寿命、减少生产过程的停工时间。

EDK 研发的软件可以实时观察、实时测量、实时操作对不同空间不同位置的NH3、HCL、HF进行分析，软件专门针对半导体行业开发，对于深紫外光刻工艺过程中监测与控制空气分子污染（AMC）提供有力的支持，软件集成了多点采样（MS）控制功能，具有实时显示数据曲线、报警、存储、趋势、历史曲线、分析等功能。

猎户座3100系统：完善的空气分子污染物（AMC）监测

实时监测空气分子污染（AMC）对于半导体生产过程极为重要。

快速监测、报警、极低浓度测量、宽测量区域、多气体的高灵敏响应等是半导体工业要求之一。深紫外光刻工艺特别关注氨、胺类、N-甲基毗咯烷酮NMP、酸类等浓度测量，当这些气体与化学放大光刻胶反生反应时，将深深的影响半导体器件质量。

特点优势：

DUKE采用被证明的CEAS（腔增强吸收光谱）技术解决AMC（空气分子污染物）监测难题，可快速测量痕量级NH3、HCL、HF，采用脉冲荧光法测量SO2，采用增强型GC-FID测量VOCs。
猎户座 3100S 系列空气分子污染物监测系统测量痕量级NH3、HCL、HF 并集成了uVOC-CAM特性，是半导体行业洁净室AMC（空气分子污染）测量的有力工具。
猎户座 3100S也集成了多点监测系统，可依序将气体抽送到分析仪或传感器，并读出测量结果。猎户座3100S内嵌的报警、报告、分析软件是由多年半导体行业经验的工程师集体开发。
猎户座3100S使用Ethernet、RS485／RS232或4-20mA模拟模块可以输出来自4～6台分析仪或传感器的数据。
每台分析仪配有内置计算机（Linux OS），可进行数据存储和数据输出，还支持远程网络控制，通过互联网可以连接DUKE公司总部或者当地经销商服务商，进行操作或者诊断。
使用者可以通过网络浏览器比如 IE、Chrome 等世界任意可以联网的地方进行操作，远程操作可实现多级管理权限控制和操作。
猎户座3100S 系统配置

猎户座3100S 的特性：

sub-ppb 级实时测量

CEAS (腔增强吸收光谱) 原理

苛刻危险环境下可连续无人值守测量

无试剂、无放射源、无纸带消耗、无吸收管或者其他耗材

长期稳定性和可靠性

固态电子器件无可移动部件
低维护量、长免维护期

出厂标定

单组份/多组份痕量级气体测量

4~64通道多点采样
独立可编程报警、继电器设置
可独立编程采样点顺序和吹扫通道
开放的通讯协议,便于二次开发与集成
电源断电或者断闻，数据无丢失
触摸屏允许数据显示、表格显示、曲线显示等

%”外径接口
管线:PFA,PVDF
距离采样点最长管线:80m
盘装彩色液晶显示器
可远程操作或可视化操作
任意的运载工具
输出信号:标配:RS232可选:4-20 mA,Modbus
供电: 115-230 Vac 50/60 Hz
校准报告
通过采样器或者快速回路泵采样

技术参数：

增强灵敏度：
仪器基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术，极简使用、便捷操作，所有部件(包括内置真空

泵、键盘、鼠标、显示器等)几分钟内可开始记录数据，其他大气中的水汽、CO2、O2、甲烷

等不会对HCL、HF、NH₃等测量构成交叉干扰。内置计算机可以存储大量数据到内置硬盘上，

可同过数字接口或者模拟接口传输数据，可通过互联网远程存储或记录数据，高质量的数据库，

适合于苛刻的半导体痕量级气体应用。

检测限/精度(1-σ):：

HCL        0.1ppb

HF          0.1ppb

NH₃       <0.1ppb

快速响应时间：每个通道5秒

系统即插即用：系统可在洁净间几分钟内简单操作完成

低成本：因CEAS (腔增强吸收光谱)系统不需要特别的维护保养和备品备件，所以很好的降低了

使用者成本。

CEAS (腔增强吸收光谱)---原理

基于CEAS(腔增强吸收光谱)技术的仪器原理图，使用近红外波段光进行高灵敏度吸收测

量，测量腔室由一组高反射率多次反射镜片组成的柱状体构成，激光束经过固态校准器

(FSR=2.00GHz)时会测量得到相对激光波长。为了保证清晰度，忽略了原本照射到左侧测量

单元腔镜外的光束。

EP增强型版本集成了压力传感器和内部温度控制器，具有超稳定性测量腔室，防止温度漂

移、压力变化等造成的误差。

CEAS(腔增强吸收光谱)相比于第一代的 CRDS(腔荡光谱)术，有许多已被证明的优势。简而言之，激光束不需要 共振耦合进入测量腔室(例如光束不需要严格对准)。DUKE分析仪器和系统具有天生安装简单、机械牢固、防护结实等特点。