洁净室气态分子污染物(AMC)控制解决方案

　　对微电子制造业来说，空气中危害生产工艺和产品并因此引起成品率降低的化学物质，称为气态分子污染物(AMC)。分子污染物的尺寸比粒子要小得多，相差几个数量级，高效过滤器(HEPA)或者超高效过滤器(ULPA)根本无法去除AMC。随着半导体制程技术的飞速发展,芯片线宽已经进入纳米级，相应的产品对半导体产品生产环境的要求也越来越高，因此半导体洁净室内AMC的控制标准也提高了很多。亿天净化提供全系列的净室气态分子污染物(AMC)控制解决方案，高效去除气态分子污染物，满足客户不同净化等级需求，提高产品加工质量和成品率，保护工作人员健康。
 

　　洁净室新风AMC控制方案

　　净化亿天净化提供全系列新风机组(MAU)气态分子污染物控制解决方案，高效吸收和吸附引入新风中的有害气体成份，确保洁争室内高级别的洁净度。

　　筒式过滤器 多V型箱式过滤器 折叠箱式过滤器 大风量平板式过滤器

　　V型箱式过滤器 平板式过滤器 多V型板式过滤器

　　洁净室循环风AMC控制方案

　　亿天净化提供全系列循环风(FFU)气态分子污染物控制解决方案，ESKY-FFU过滤器是一种高效去除空气中颗粒和气态污染物的组合式过滤器，安装在风机过滤装置(FFU)中HEPA/ULPA上风流位置，用于有效去除气态分子污染物。有多种尺寸可选，尺寸也可定制。ESKY-FFU使用purafil专有干式化学滤料，可有双去除特定洁净室区域内的目标污染物。
 

　　ESKY-FFU过滤器 ESKY-FFU-IX过滤器

　　洁净室机台AMC控制方案

　　在生产机台正上方加装化学过滤器，过虑器内加载purafil专业干式化学过滤材料，高效吸收净化有害气体，可以有效保证制程环境洁净度。

　　微电子厂房废气处理装置

　　半导体制成需要使用各种化学工艺气体，这些气体也会随着工艺的过程，由真空泵从反应腔体抽出，形成各种有毒有害的工艺尾气;大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体等在半导体制成的不同工艺中使用，也产生有毒有害废气，半导体生产厂家需要对工艺废气进行有效的处理才能排入大气中，确保安全的工作环境，保护周边环境的安全。

　　半导体工艺废气的主要来源:

　　●酸性废气：来源于工艺流程中使用各种酸液对芯片的腐蚀、清洗过程以及扩散等工序,主要污染物为氟化物、氯化氢、氮氧化物、硫酸雾等;

　　●碱性废气：来源于使用氨水、氨气的刻蚀工序，主要污染物为NH3;

　　●有机废气：来源于清洗、匀胶、去胶、刻蚀、显影工序使用有机溶剂清洗过程，主要成份为异丙醇、光刻胶等有机物;

　　●工艺尾气：来源于扩散、离子注入和CVD等工序使用的特殊气体，如硅烷、磷烷、砷烷、乙綳烷(B2H6)等，除部分在工艺中反应消耗外，其余均以尾气的形式排放;

　　亿天净化微电子厂房废气处理装置是非常高效的废气处理装置，用于高效处理半导体制成产生的各种有毒有害废气，也可以与其他过滤系统配合使用作为精过滤段，过滤后的气体浓度可以达到严格空气质量标准，广泛应用于微电子行业设施及工厂，满足最严格的排放和法规要求。

　　危险化学气体泄漏应急处理系统

　　不受控的高压气瓶/罐危险化学气体泄漏会严重威胁环境和人的健康，严重的可能要夺去人的生命。危险气体泄漏可能会发生在新气瓶储存时期，由于气柜中配件连接错误，部件故障，或者气瓶换气过程中操作不当等都会造成危险气体泄漏。ESKY-PURAFIL危险化学气体泄漏应急处理系统(EGS)对危险化学气体品存放和使用中突发泄漏气体进行有效处理，最大限度地降危险气体泄漏的危害程度，保障员工生命、财产安全和保护环境。

　　ESKY-PURAFIL EGS系统使用Purafil定制工程滤料，Purafil吸附滤料通过化学吸附法去除危险气体，滤料与危险气体发生化学反应，危险气体被转化为无害的固体留在滤料内部。ESKY-PURFAFIL EGS系统通过配置不同的普拉飞定制工程滤料，可以有效去除目标危险气体:NH3、BF3、 AsH3、COF2、CL2、B2H6、GeH4、HCL、H2Se、PH3、SiH4、HF、CLF3、SO2、H2S等。

　　EGS系统配置包括:滤料罐、风机、危险气体检测仪，危险气体发生泄漏，并达到一定浓度时，检测仪检测到气体泄漏，风机自动启动，系统内滤料会从前到后逐渐发生化学吸附反应，气/液扩散无阻碍。系统设计满足最大泄漏工况，设计按照能够吸收最大单次存储或使用量来设计,危险气体处理后浓度小于5ppb的排放，低于环保和法规的要求。