RION/日本理音液体粒子计数器,可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子,如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料,超纯水和清洗用化学剂比如碱,有机溶剂和氢氟酸。另外,也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液,测试方法包括在线和离线测试。
光源镭射二极管(波长:780nm,额定输出:5mW)
镭射材料 人造石英PFA Perfluoro
流量 25ml/分钟
粒径范围(8通道,标配); ≥2μm; ≥3μm; ≥5μm; ≥7μm; ≥10μm; ≥25μm; ≥50μm; ≥100μm
可选通道 1-10个通道,由控制器设定,设定范围:2~100μm
粒子数量 10000颗/ml
电源 DC12V(由KE-40B1供应)
尺寸.重量 125(H)X 240(W) X 150(D)mm,大约:3kg