RION/日本理音液体粒子计数器，可检测从纯水到氢氟酸各种各样的液体。液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的专用材料比如SOG和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂比如碱，有机溶剂和氢氟酸。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。

特点优势

粒径范围(4通道，标配) ;  ≥0.04μm;   ≥0.08μm;   ≥0.1μm;   ≥0.15μm

可选通道 2-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.04~0.15μm

粒子数量 15000颗/ml，误差值低于10%

技术参数

光源 激光二极管泵/固态晶振镭射(波长:532nm,额定输出:500mW)

与样品接触部分材料 人造石英,碳氟橡胶、氟塑胶、PMC

外部材质 SUS304/316、有机玻璃、POM

流量 20ml/分钟，清洗流量0.1-1l/分钟

粒径范围(4通道) ;≥0.04μm;   ≥0.08μm;   ≥0.1μm;   ≥0.15μm

可选通道 2-10个通道,由控制器设定,设定范围:0.04~0.15μm

粒子数量 15000颗/ml，误差值低于10%

电源 100V-240V AC,50/60Hz 130VA

尺寸.重量 203（H）X  385(W)  X  570(D)mm（突出部分除外）大约24.8kg