化学过滤器作为洁净室通风空调系统的一个组成部分，用于安装在洁净室内的各种位置，不同的位置提供不同程度的灵活性，并针对特定的污染物或污染源进行定位。

化学过滤器可以很容易地整合到现有的空气处理设备中，用于气态分子污染物（AMC）控制，可以是多个位置的过滤系统的组合，也可以是单个位置的多个过滤阶段的组合，基本上可以解决任何AMC问题，进而保护敏感的制程。

洁净室中化学过滤器的使用位置

（1）置于新风空调箱，移除由室外引进的污染；

（2）置于循环回风空调箱，移除制程环境所产生的污染以节省新风量及新风空调负荷；

（3）与风机过滤单元结合控制洁净室天花板气流出口的洁净；

（4）微环境，接近制程设备机台端供给洁净气流。

化学过滤器种类多，主要分为： 平板型化学过滤器 、W型化学过滤器、箱式化学过滤器、圆筒化学过滤模块、插片式化学过滤器、V型化学过滤模块等，能满足各类气态污染物过滤需求，助力企业优化生产工艺、提升产品良率，扎实推动企业节能降耗增效。

化学过滤器特点

▶采用新一代化学过滤技术，高效过滤各类污染气体，过滤效率≥95%

▶流畅的结构设计，低阻力，无递增压损

▶气体与滤材大面积接触，净化更充分

▶采用高效滤材，拥有更长的使用寿命和更高性能

▶ 无灰尘释放，具有一定的粉尘过滤效果

具体选择哪种类型的化学过滤器，需要根据污染物种类、浓度和处理风量等条件，确定合适的过滤器形式和滤料种类，并在使用过程中监测过滤器前后污染物的浓度变化，确定更换周期和使用寿命，以确保最佳的空气质量和污染控制效果。