在半导体制造工艺中，生产环境的洁净度有着极高要求，即便是纳米级的气态分子污染物（AMC）也会对制程造成干扰，导致产品良率显著下降。因此，使用实时在线监测系统已成为半导体工业质量控制体系中至关重要的技术保障环节。

传统的分析方法因涉及冗长的采样流程与复杂的样品预处理环节，往往无法在短时间内输出分析数据，致使产线无法实现快速响应与工艺调控。而亿天净化AMC化学污染物在线监测系统凭借其ppb级超高灵敏度特性，成为半导体制造环境实时监控的理想解决方案。

AMC化学污染物在线监测系统是什么？

AMC在线监测系统可对洁净区域中的环境进行AMC监测，配合信号控制箱、监测服务器电脑、软件、泵、多路采样器以及根据厂房的实际情况配全相应的数据线电源线等辅材，可实现环境中的AMC实时监测显示、存储、历史查看、图表分析等功能，满足半导体洁净厂房环境数据的管理需求。

AMC化学污染物在线监测系统特点与优势

1. 通过监测系统对AMC物质浓度监测，建立预警系统；

2. 部分监测物质检出限可达ppt级别；

3. 针对RC、CxF、TVOC等物质具备定制化功能；

4. 提供实时在线历史数据查看和数据图标趋势分析;

5. ESKY公司具备CNAS资质实验室，可进行数据手工校验;

6. 远程控制，支持 TCP/IP 以及 485 连接到现有上位机。

AMC化学污染物在线监测系统配置