随着科技的快速发展，污染源类型日益呈现出多元化、动态化的特征。在洁净室环境中，气态分子污染物（AMC）已成为继空气悬浮粒子之后又一个影响环境质量的关键因素。洁净室内存在各种AMC的释放源，其污染物释气对洁净室及相关受控环境的质量具有决定性影响。因此，控制洁净室内的AMC浓度，是提升产品良品率的关键。目前，针对这项污染物的检测与评估工作正愈发受到关注。

材料释气检测关注的核心点

根据国际标准ISO 14644-8和国家标准GB/T 36066，洁净室中的空气化学污染物可分为八类：酸、碱、有机物、生物毒素、可凝聚物、腐蚀物、掺杂物和氧化物。空气化学污染物可能导致半导体晶圆表面的污染、腐蚀导线连接等问题，进而危及产品质量。因此，控制微电子洁净室内的AMC浓度，是提升产品良品率的关键。

洁净（微）环境用材料是洁净室及相关受控环境中AMC的重要来源之一，应重点关注的材料包括环氧自流平、油漆、密封胶、涂料、胶粘剂、复合材料、洁净耗材和化学过滤器等。材料释气检测和评估是判断材料和设备是否满足洁净室AMC控制要求的重要手段，是实现空气化学污染控制的关键保障措施。

释气检测的相关标准

1.JACA NO.34《洁净室构成材料产生的分子污染物测量指南 洁净室建筑/组合材料排放的空气分子污染物评估标准》

2.GB/T 25915.15《洁净室及相关受控环境第15部分:按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性》

3.ISO 16000-9《Indoor air Part 9:Determination of the emission of volatile organic compounds from samples of building products and furnishing-Emission test chamber method》

4.VDI 2083-17《Reinraumtechnik Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen Cleanroom technology Compatibility of materials with the required cleanliness》

5.ASTM E595《Standard Test Method forTotal Mass Loss and Collected Volatile Condensable Materials from Outgassing in a Vacuum Environment》

释气检测的流程

材料释气评估报告样例

洁净室及相关受控环境洁净环境与装备测试中心大湾区实验室长期致力于电子产品制程环境与工艺系统性能检测与评价、洁净（微）环境用设备和材料性能研究，根据用户需求提供检测、监测、咨询、认证服务，助力您的洁净空间升级，守护每一个品质细节。